乐鱼体育网址:江苏芯梦获得半导体工件枯燥设备专利提高晶圆的枯燥作用

  国家知识产权局信息数据显现，江苏芯梦半导体设备有限公司获得一项名为“半导体工件枯燥设备”的专利，授权公告号CN223783201U，请求日期为2024年12月。

  专利摘要显现，本实用新型的施行例供给了一种半导体工件枯燥设备，触及半导体工件处理技能的范畴。本实用新型供给的半导体工件枯燥设备包含槽体、槽盖、支撑组件与抵持组件，槽体具有用于放置花篮的容置腔，容置腔与抽气设备连通；槽盖铰接设置于槽体上且坐落容置腔开口端，以用于滚动至对容置腔进行关闭；支撑组件设置于槽体上且坐落容置腔底部，以用于承载装载有晶圆的花篮；抵持组件设置于支撑组件上，花篮放置于支撑组件上时，晶圆被抵持组件顶起并与花篮底部脱离。本实用新型供给的枯燥设备包含前述枯燥容器与喷嘴、抽气设备，喷嘴与外部气源衔接。本实用新型可以提高晶圆的枯燥作用。

  天眼查资料显现，江苏芯梦半导体设备有限公司，成立于2019年，坐落苏州市，是一家以从事软件和信息技能服务业为主的企业。企业注册资本4193.7032万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏芯梦半导体设备有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目70次，产业线条，此外企业还具有行政许可11个。

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